上海市集成電路行業協會
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深亞微米集成電路工藝設計技術培訓及交流會

作者:SICA 發布日期:2016年10月17日 星期一

 『鴻之微講堂系列』之

深亞微米集成電路工藝設計技術培訓及交流會

日期:20161021日,周五

時間:9:00-12:00,13:00-16:00

地點:上海市浦東新區金橋金領之都會議室

規模:80-100

議程:

8:30 – 9:00

簽到

 

9:00 – 10:30

主題課程1:下一代集成電路工藝設計的若干問題與挑戰

曹榮根 博士

10:30 – 12:00

主題課程2:下一代集成電路工藝設計軟件TCAD簡介

陳江釵 博士

12:00 – 13:00

午餐

 

13:00 – 14:30

主題課程3:下一代集成電路的散熱問題

任捷 教授

14:30 – 17:00

技術交流及案例展示

 

17:00 – 18:00

答疑時間

 

 

主題課程1:下一代集成電路工藝設計的若干問題與挑戰

隨著集成電路產業的迅猛發展,傳統半導體器件的尺寸迅速減少,以及新興集成電路和材料的出現,這些傳統的TCAD方法和軟件已經面臨著巨大的挑戰,相應的輔助計算模擬和工藝設計軟件發展遇到瓶頸,將完全無法承擔10nm左右的電子器件的設計問題。其主要困難來自于:(1)當器件到達納米尺度甚至原子尺度時,量子效應將起重要作用,而傳統的模型和方法沒有完備地包含量子效應;(2)隨著器件尺寸的縮小,微觀的材料結構,制備,和工藝的差異,將會對器件的性質帶來極其顯著影響,而傳統的模型和方法很難處理材料和器件細節對功能的影響;(3)經驗和經典的TCAD設計方法和軟件依賴于大量的實驗參數,然而當器件達到納米尺度后,通過實驗手段獲得可靠的參數變得越來越困難和費時費力。(4)諸多新型電子器件和電子材料的不斷問世,完全超出了傳統TCAD方法的應用范圍。這些新型電子器件已經和即將在MRAM,太陽能,電動汽車,生物技術等領域有巨大應用前景。在傳統TCAD模擬方法面臨諸多困難的情況下,基于原子水平的TCAD應運而生。

主講嘉賓:曹榮根

Ø  復旦大學材料科學系材料物理與化學專業,博士。

Ø  長期從事集成電路器件和工藝研究,發表 SCI 文章 15 篇,擁有專利5項。

Ø  2003年與日本濱松光子株式會社合作,共同組建當時國內最先進的集成電路失效定位分析實驗室,該實驗室先后為國內300家半導體企業開展過相關服務。

Ø  2014年發起成立鴻之微科技(上海)有限公司并任總經理。

 

主題課程2下一代集成電路工藝設計軟件TCAD簡介

HZWTCad可以不依賴實驗參數,直接采用量子第一性原理給出的參數,以半經典物理和有限元方法結合的方法,模擬任意形狀任意材料的晶體管或者其它電子器件的電學性質,包括電流電壓曲線和電壓電容曲線等,從而從理論模擬的層面給出產品的工作性能,工作區間和物理極限。和傳統的經典TCAD相比,HZWTCad可以模擬器件的量子效應,尤其適合小型的納米級器件,模擬的精度更高,更加凸顯由結構和材料帶來的器件的本征屬性,能有效的處理20nm]以下的尺寸的器件的工藝問題。

主講嘉賓:陳江釵

Ø  2012年畢業于中國科學院物理研究所理論物理專業,取得博士學位。

Ø  2013年在香港大學做博士后研究。主要從事于凝聚態物理介觀體系的量子輸運研究,共發表論文5篇。

Ø  目前,在鴻之微科技(上海)有限公司技術部擔任高級工程師一職。

 

主題課程3:下一代集成電路的散熱問題

集成電路的器件集成度已達到在一平方厘米的面積內集成數十億個納米晶體管。如此密集的晶體管在以極高頻率工作時會產生巨大的熱量,包括晶體管中電流通過時產生的焦耳熱和電容充放電時所產生的熱量。這些熱量積聚在極小的器件范圍內,如果不及時疏導出去,會使得電子器件的局部溫度急劇升高,形成熱點。過高的溫度會大大降低器件的可靠性和運行速度,并最終導致集成電路被燒毀。因此,將產生的熱量及時耗散到器件以外,使器件的工作溫度保持在較低水平是半導體電子工業發展所面臨的一個重要課題。

微電子器件的熱問題涉及以下的物理問題:

a) 電子,聲子,及其所載熱能如何在微納米尺度半導體材料里輸運?

b) 電子,聲子,及其所載熱能如何透過各種界面的?

c) 基于以上的原理,如何設計低維微納超結構,實現對電或熱的操控器件?

這三個問題的研究是解決熱能轉換和高集成微納器件的散熱和熱能調控的關鍵。

主講嘉賓:任捷

Ø  國家第十一批青年千人計劃入選者, 同濟大學物理科學與工程學院聲子學與熱能科學中心教授。

Ø  先后就讀供職于瑞士弗里堡大學,新加坡國立大學,美國洛斯阿拉莫斯國家實驗室,美國麻省理工學院MIT,現在同濟大學任職。主要從事微米納米尺度的開放系統研究,特別關注非平衡態量子輸運的統計力學和理論物理。

Ø  已發表論文40余篇,其中物理綜述Review of Modern Physics 1篇,PRL 7篇,PRBE 19篇等等。論文總引用2000次左右,累計影響因子200余點,H-index 18。研究成果先后被精選為PRL Editor Suggestion;被Nature Physics做專題報道;并在Science Daily,Phys.Org,AAAS, EurekAlert等多家科技媒體上報道。除了為Nature Communication,PRL,B,E,EPL等十多種雜志長期審稿外,還于2014年受邀為美國能源部的理論凝聚態物理口的特約基金評審;2015年被委任為美國物理聯合會的期刊AIP Advances的客座編輯,負責???span lang="EN-US">“聲子學與熱科學;2015年入選中組部千人計劃青年項目;2016年入選上海市科學技術委員會專家庫。

 

上海市集成電路行業協會會員免費,限20名。

報名熱線:

甄小姐      TEL: 021-50550302-8001  Emailzhenwenwen@hzwtech.com

VV 宋小姐    TEL: 021-5160 2306   Email: [email protected]

 

 

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